內(nèi)容概要:電子氣體尾氣回收是指在生產(chǎn)過程中對工藝環(huán)節(jié)排放的廢棄電子氣體進行捕獲、純化與再利用的技術與管理過程。電子氣體尾氣回收具有資源循環(huán)利用、降低生產(chǎn)成本、減少環(huán)境污染的多重價值。市場需求及技術進步的持續(xù)拉動,使得過去幾年中國電子氣體尾氣回收行業(yè)市場規(guī)模實現(xiàn)了跨越式增長。2024年中國電子氣體尾氣回收行業(yè)市場規(guī)模達51.1億元,同比增長17.7%。
關鍵詞:各類電子氣體尾氣回收特點、電子氣體尾氣回收行業(yè)市場規(guī)模
一、電子氣體尾氣回收概述
電子氣體尾氣回收是指對工藝環(huán)節(jié)排放的廢棄電子氣體進行捕獲、純化與再利用的技術與管理過程。其核心目標是通過專業(yè)的設備和工藝,將原本可能被直接排放的尾氣轉(zhuǎn)化為可再次用于生產(chǎn)的高純度氣體,從而實現(xiàn)資源循環(huán)利用、降低生產(chǎn)成本、減少環(huán)境污染的多重價值。
(1)電子氣體尾氣回收的核心環(huán)節(jié)
電子氣體尾氣回收的包括氣體收集、預處理、提純分離等環(huán)節(jié)。具體如下:
(2)各類電子氣體尾氣回收特點
電子氣體尾氣回收涉及的氣體類型多樣,主要源于電子制造業(yè)(集成電路、面板、光伏新能源等)的工藝排放,或者大化工行業(yè)里的有用尾氣成分,可按氣體性質(zhì)、用途及回收價值分為惰性/稀有氣體、易燃易爆氣體、劇毒/腐蝕性氣體、溫室效應氣體四大類。不同性質(zhì)的氣體所采用的回收方式有較大差異。對于屬于量大或資源稀缺的尾氣品類,尾氣回收的市場驅(qū)動效應巨大,國內(nèi)外廠商持續(xù)通過技術與工藝的改進,推動尾氣回收的應用與實施,目前市場上較為常見的尾氣回收提純電子氣體包括N?O、氦氣(He)、氬氣(Ar)、氨氣(NH4)、氫氣(H2)、二氧化碳(CO2)等。不同電子氣體對應的回收特點各不相同,如劇毒/腐蝕性氣體回收處理需嚴格密封和專業(yè)工藝,高燃爆風險的氣體回收時需控制氧含量和溫度。
二、中國電子氣體尾氣回收行業(yè)政策分析
電子氣體尾氣回收是集成電路、光伏等高端制造業(yè)綠色化發(fā)展的關鍵環(huán)節(jié)。2020年后半導體產(chǎn)業(yè)鏈自主可控的驅(qū)動下,政策體系加速完善,推動行業(yè)向規(guī)范化、高技術化方向轉(zhuǎn)型。
三、電子氣體尾氣回收行業(yè)市場規(guī)模分析
電子氣體(如氦氣、氬氣、氧化亞氮等)價格昂貴,回收后可直接降低企業(yè)采購成本。例如,光伏生產(chǎn)企業(yè)可通過氬氣回收系統(tǒng)將氬氣采購量大幅減少;半導體企業(yè)回收三氟化氮等溫室氣體,不僅避免高額排污費,還可通過碳交易獲利。同時,技術進步推動設備成本降低,提高了用氣企業(yè)采用尾氣回收裝置的意愿,例如膜分離技術使氦氣回收運營成本下降。此外,電子信息制造企業(yè)與氣體供應商合作開發(fā)定制化回收方案,產(chǎn)業(yè)鏈協(xié)同創(chuàng)新推動技術迭代和國產(chǎn)化替代。最重要的是,我國集成電路制造及光伏產(chǎn)業(yè)的產(chǎn)能快速擴張直接增加了尾氣回收設備需求。市場需求及技術進步的持續(xù)拉動,使得過去幾年中國電子氣體尾氣回收行業(yè)市場規(guī)模實現(xiàn)了跨越式增長。2024年中國電子氣體尾氣回收行業(yè)市場規(guī)模達51.1億元,同比增長17.7%。
2025年中國集成電路及顯示面板產(chǎn)能規(guī)模的進一步擴張,將進一步帶動電子氣體用量激增。而尾氣回收可降低企業(yè)氣體采購成本。如韓國 SK 海力士通過氖氣回收技術實現(xiàn) 72.7% 的回收率,每年節(jié)省400億韓元采購成本,這一模式正被國內(nèi)企業(yè)借鑒,尾氣回收系統(tǒng)的配套建設成為必然。預計2025年中國電子氣體尾氣回收行業(yè)市場規(guī)模將增長至56.6億元。
以上數(shù)據(jù)及信息可參考智研咨詢(elizabethfrankierollins.com)發(fā)布的《中國氣體純化設備行業(yè)市場競爭態(tài)勢及發(fā)展趨勢研判報告》。智研咨詢是中國領先產(chǎn)業(yè)咨詢機構,提供深度產(chǎn)業(yè)研究報告、商業(yè)計劃書、可行性研究報告及定制服務等一站式產(chǎn)業(yè)咨詢服務。您可以關注【智研咨詢】公眾號,每天及時掌握更多行業(yè)動態(tài)。


2025-2031年中國氣體純化設備行業(yè)市場競爭態(tài)勢及發(fā)展趨勢研判報告
《2025-2031年中國氣體純化設備行業(yè)市場競爭態(tài)勢及發(fā)展趨勢研判報告》共十四章,包含中國氣體純化設備行業(yè)主導企業(yè)分析,2025-2031年中國氣體純化設備行業(yè)的前景趨勢分析,2025-2031年中國氣體純化設備行業(yè)投資前景及發(fā)展建議等內(nèi)容。



