2018年全球工藝控制與量測(cè)設(shè)備市場(chǎng)結(jié)構(gòu)統(tǒng)計(jì) 國產(chǎn)品牌對(duì)比分析[圖]

    半導(dǎo)體的工藝控制、良率管理、量測(cè)設(shè)備，主要包括尺寸測(cè)量和缺陷檢測(cè)，尺寸測(cè)量包括膜厚檢測(cè)、粗糙度測(cè)量、套刻誤差測(cè)量、OCD測(cè)量、掩模板測(cè)量等，缺陷檢測(cè)包括無圖形晶圓檢測(cè)、有圖形晶圓檢測(cè)、電子束復(fù)檢設(shè)備等。

    數(shù)據(jù)顯示，2018年前道工藝控制與量測(cè)設(shè)備市場(chǎng)規(guī)模64億美元，占前道工藝設(shè)備的10.8%，2019年估計(jì)降至58億美元，同比下滑10%。中國大陸市場(chǎng)約13億美元，其中本土晶圓廠的工藝控制與量測(cè)設(shè)備需求約占1/2，相當(dāng)于6.5億美元。

2013-2019年全球工藝控制與量測(cè)設(shè)備市場(chǎng)規(guī)模

資料來源：智研咨詢整理

    工藝控制與量測(cè)設(shè)備市場(chǎng)上，尺寸測(cè)量占52%（其中，膜厚檢測(cè)占12%、套刻誤差測(cè)量占9%、OCD測(cè)量占10%、晶圓形貌測(cè)量占6%、掩模板測(cè)量占15%），缺陷檢測(cè)占比48%（無圖形晶圓檢測(cè)占5%、有圖形晶圓檢測(cè)占32%、電子束復(fù)檢設(shè)備占11%）。

工藝控制與量測(cè)設(shè)備的分類及構(gòu)成

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    全球前道工藝控制與量測(cè)設(shè)備市場(chǎng)被KLA、應(yīng)用材料、Hitachi壟斷。根據(jù)數(shù)據(jù)，全球工藝控制與量測(cè)設(shè)備市場(chǎng)上，KLA市占率52%，應(yīng)用材料市占率12%，日立科技市占率11%，行業(yè)前三名的市占率合計(jì)75%。分產(chǎn)品看，膜厚檢測(cè)設(shè)備主要被KLA、Nova壟斷，套刻誤差測(cè)量設(shè)備被KLA、ASML壟斷，OCD測(cè)量被KLA、Nano壟斷，形貌測(cè)量、掩模板檢測(cè)、無圖形缺陷檢測(cè)、有圖形缺陷檢測(cè)等的60%以上市場(chǎng)被KLA占據(jù)，電子束檢測(cè)設(shè)備主要來自應(yīng)用材料、ASML、KLA。

2018年全球工藝控制與量測(cè)設(shè)備的行業(yè)競(jìng)爭格局

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    KLA：全球高度壟斷的工藝控制與量測(cè)設(shè)備供應(yīng)商。KLA2019年銷售收入46億美元，凈利潤12億美元，毛利率59%，凈利率26%，盈利能力在全球半導(dǎo)體設(shè)備中較高，主要是KLA在各類工藝控制與量測(cè)設(shè)備中均處于壟斷地位，其中在晶圓形貌測(cè)量占85%，在無圖形晶圓檢測(cè)占78%，在有圖形晶圓檢測(cè)占72%，掩模板測(cè)量中占66%，在套刻誤差測(cè)量的市占率65%，在OCD測(cè)量占50%，在膜厚設(shè)備中占45%。

KLA 在各類工藝控制與量測(cè)設(shè)備的市占率

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    三家工藝控制與量測(cè)設(shè)備國產(chǎn)品牌情況

    上海精測(cè)半導(dǎo)體：有望成為國產(chǎn)品牌后起之秀。上海精測(cè)主要聚焦半導(dǎo)體前道檢測(cè)設(shè)備領(lǐng)域，以橢圓偏振技術(shù)為核心開發(fā)了適用于半導(dǎo)體工業(yè)級(jí)應(yīng)用的膜厚測(cè)量以及光學(xué)關(guān)鍵尺寸測(cè)量系統(tǒng)。目前已有1臺(tái)膜厚的設(shè)備進(jìn)入半導(dǎo)體廠商，且預(yù)期后續(xù)會(huì)取得客戶的重復(fù)性訂單，電子顯微鏡的相關(guān)設(shè)備預(yù)計(jì)在明年推向市場(chǎng)，其余相關(guān)的產(chǎn)品目前正處于研發(fā)、認(rèn)證以及擴(kuò)展的過程中。上海精測(cè)成功引入國家集成電路大基金等專業(yè)投資機(jī)構(gòu)，將會(huì)使上海精測(cè)的發(fā)展進(jìn)入一個(gè)全新階段。

    中科飛測(cè)：形貌量測(cè)設(shè)備、厚度量測(cè)設(shè)備等已進(jìn)入主流晶圓廠。公司創(chuàng)始人和核心團(tuán)隊(duì)成員具有海外多年技術(shù)積累和管理經(jīng)驗(yàn)，自主研發(fā)核心產(chǎn)品包括三維形貌量測(cè)系統(tǒng)CYPRESS系列、表面缺陷檢測(cè)系統(tǒng)SPRUCE系列等。其中公司多臺(tái)光學(xué)表面三維形貌量測(cè)設(shè)備進(jìn)入本土存儲(chǔ)客戶，多臺(tái)厚度量測(cè)設(shè)備等檢測(cè)設(shè)備進(jìn)入青島芯恩產(chǎn)線。

    上海睿勵(lì)：老牌國產(chǎn)工藝控制與量測(cè)設(shè)備供應(yīng)商。睿勵(lì)科學(xué)儀器（上海）成立于2005年，距今已有14年歷史，公司曾獲三星電子多臺(tái)膜厚量測(cè)設(shè)備訂單，以及武漢新芯、長江存儲(chǔ)、上海華力等的數(shù)臺(tái)膜厚量測(cè)設(shè)備訂單。

三家工藝控制與量測(cè)設(shè)備本土供應(yīng)商

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    相關(guān)報(bào)告：智研咨詢發(fā)布的《2020-2026年中國半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)市場(chǎng)運(yùn)營格局及供需態(tài)勢(shì)分析報(bào)告》