2025年中國半導(dǎo)體廢氣處理設(shè)備?行業(yè)產(chǎn)業(yè)鏈圖譜、運(yùn)行現(xiàn)狀、重點(diǎn)企業(yè)及未來發(fā)展趨勢研判：國產(chǎn)替代與智能化轉(zhuǎn)型加速，行業(yè)市場規(guī)模有望突破25億元[圖]

內(nèi)容概要：半導(dǎo)體廢氣處理設(shè)備是晶圓制造、封裝測試等環(huán)節(jié)的關(guān)鍵環(huán)保裝備，通過物理、化學(xué)或生物方法將生產(chǎn)中的有害物質(zhì)轉(zhuǎn)化為無害物，確保排放合規(guī)。其設(shè)備類型多樣，涵蓋活性炭吸附、催化氧化、熱氧化、生物濾池、冷凝吸收及洗滌塔等，可針對性處理各類廢氣。作為保障產(chǎn)業(yè)綠色制造的核心環(huán)節(jié)，該行業(yè)近年來獲國家政策密集支持，形成從宏觀指導(dǎo)到精準(zhǔn)施策的完整框架，為其提供清晰升級路徑與廣闊市場空間。依托龐大的市場需求、完整的產(chǎn)業(yè)鏈基礎(chǔ)及有力的產(chǎn)業(yè)政策，中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)實(shí)現(xiàn)跨越式發(fā)展，2024年市場規(guī)模達(dá)13028億元，推動(dòng)廢氣處理設(shè)備等上游配套市場擴(kuò)張。當(dāng)前，中國半導(dǎo)體廢氣處理設(shè)備市場潛力強(qiáng)勁，正從單一設(shè)備銷售向“技術(shù)+服務(wù)”轉(zhuǎn)型，第三方治理模式滲透率提升。未來，在自主化戰(zhàn)略與環(huán)保政策推動(dòng)下，行業(yè)將保持增長態(tài)勢，前沿技術(shù)如等離子體協(xié)同催化、AI智能運(yùn)維等也將推動(dòng)行業(yè)升級。同時(shí)，智能制造與低碳發(fā)展理念正推動(dòng)設(shè)備升級，實(shí)現(xiàn)生態(tài)與產(chǎn)業(yè)價(jià)值協(xié)同增長。

上市企業(yè)：京儀裝備（688652.SH）、盛劍科技（603324.SH）、仕凈科技（301030.SZ）

相關(guān)企業(yè)：江蘇維爾利環(huán)?？萍加邢薰?、格林斯達(dá)（北京）環(huán)?？萍脊煞萦邢薰?、天和（上海）半導(dǎo)體制程排氣工業(yè)有限公司、江蘇芯隆半導(dǎo)體有限公司、深圳大宇工業(yè)設(shè)備有限公司、愛德華真空設(shè)備股份有限公司

關(guān)鍵詞：半導(dǎo)體廢氣處理設(shè)備?、半導(dǎo)體廢氣處理設(shè)備政策、半導(dǎo)體廢氣處理設(shè)備?行業(yè)產(chǎn)業(yè)鏈、半導(dǎo)體廢氣處理設(shè)備?發(fā)展現(xiàn)狀、半導(dǎo)體廢氣處理設(shè)備細(xì)分市場、半導(dǎo)體廢氣處理設(shè)備?發(fā)展趨勢

一、半導(dǎo)體廢氣處理設(shè)備?行業(yè)相關(guān)概述

半導(dǎo)體廢氣處理設(shè)備是專為晶圓制造、封裝測試等環(huán)節(jié)設(shè)計(jì)的環(huán)保裝備，其核心功能是通過物理、化學(xué)或生物方法，將生產(chǎn)過程中產(chǎn)生的揮發(fā)性有機(jī)物（VOCs）、酸性氣體（如HF、Cl?）、金屬顆粒物等有害物質(zhì)轉(zhuǎn)化為無害物質(zhì)，確保排放符合環(huán)保法規(guī)。

半導(dǎo)體廢氣處理設(shè)備根據(jù)處理原理與適用廢氣類型可分為多類，包括利用活性炭吸附性能處理低濃度酸、堿、醛、酮等有機(jī)物廢氣的活性炭吸附設(shè)備，借助催化劑將苯、丙烯等高濃度有機(jī)物轉(zhuǎn)化為無害物質(zhì)的催化氧化設(shè)備，通過高溫將VOCs、苯等有機(jī)物氧化為二氧化碳和水的熱氧化設(shè)備，利用微生物代謝作用處理硫化氫、甲硫醇等有機(jī)硫化物的生物濾池設(shè)備，通過冷凝與吸收分離酸、堿、氨等有害氣體的冷凝吸收設(shè)備，以及通過噴淋洗滌液中和或吸收多種有害氣體的洗滌塔設(shè)備。

半導(dǎo)體廢氣處理系統(tǒng)按廢氣類型主要分為四類：酸性/堿性廢氣通常來自清洗工序，采用濕式洗滌塔進(jìn)行中和處理；有機(jī)溶劑廢氣（VOCs）則多使用吸附或燃燒技術(shù)，效率可達(dá)90%以上；毒性廢氣源于CVD、蝕刻等核心制程，需先經(jīng)設(shè)備自身預(yù)處理，再送至中央系統(tǒng)深度凈化；而一般排氣因不含危害物質(zhì)可直接排放。相比之下，毒性廢氣處理流程最復(fù)雜、成本最高，有機(jī)廢氣處理強(qiáng)調(diào)銷毀效率，酸堿廢氣處理則更注重化學(xué)中和的穩(wěn)定性。

二、中國半導(dǎo)體廢氣處理設(shè)備行業(yè)政策

半導(dǎo)體廢氣處理設(shè)備是保障產(chǎn)業(yè)綠色制造的關(guān)鍵環(huán)節(jié)。近年來，國家層面加強(qiáng)頂層設(shè)計(jì)，密集出臺了一系列綱領(lǐng)性文件：以《環(huán)保裝備制造業(yè)高質(zhì)量發(fā)展行動(dòng)計(jì)劃（2022—2025年）》明確產(chǎn)業(yè)升級方向；以《空氣質(zhì)量持續(xù)改善行動(dòng)計(jì)劃》等劃定精準(zhǔn)治污的戰(zhàn)場；更以《深入打好重污染天氣消除、臭氧污染防治和柴油貨車污染治理攻堅(jiān)戰(zhàn)行動(dòng)方案》鎖定重點(diǎn)治理領(lǐng)域。這些政策共同構(gòu)成了一個(gè)從宏觀指導(dǎo)到精準(zhǔn)施策的完整框架，為半導(dǎo)體廢氣處理設(shè)備行業(yè)提供了清晰的升級路徑與廣闊的市場空間。

三、中國半導(dǎo)體廢氣處理設(shè)備行業(yè)產(chǎn)業(yè)鏈

中國半導(dǎo)體廢氣處理設(shè)備產(chǎn)業(yè)鏈上游聚焦高精度零部件與子系統(tǒng)供應(yīng)，涵蓋軸承、傳感器、真空泵、射頻電源等關(guān)鍵部件，技術(shù)壁壘高且部分依賴進(jìn)口，但國內(nèi)企業(yè)在中低端領(lǐng)域已實(shí)現(xiàn)突破，高端產(chǎn)品國產(chǎn)化率提升空間顯著；中游為設(shè)備制造與系統(tǒng)集成，核心企業(yè)包括盛劍環(huán)境、京儀裝備等，通過吸附、催化燃燒、等離子體等技術(shù)實(shí)現(xiàn)廢氣高效處理，設(shè)備類型覆蓋工藝排氣管道、中央治理設(shè)備等，國產(chǎn)替代加速推進(jìn)；下游應(yīng)用于半導(dǎo)體制造全流程，包括晶圓加工、封裝測試等環(huán)節(jié)及光伏等泛半導(dǎo)體領(lǐng)域。隨著國內(nèi)12英寸晶圓廠擴(kuò)產(chǎn)及環(huán)保法規(guī)趨嚴(yán)，半導(dǎo)體廢氣處理設(shè)備需求持續(xù)增長。

半導(dǎo)體廢氣處理設(shè)備是半導(dǎo)體制造工藝中不可或缺的環(huán)保設(shè)施，承擔(dān)著處理酸性、堿性、有機(jī)及毒性等各類有害廢氣的重要任務(wù)，在保障人員健康、維護(hù)環(huán)境安全方面發(fā)揮著關(guān)鍵作用。作為持續(xù)支撐中國科技創(chuàng)新的戰(zhàn)略支柱領(lǐng)域，近年來，中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)依托龐大的市場需求、完整的產(chǎn)業(yè)鏈基礎(chǔ)、穩(wěn)定的經(jīng)濟(jì)增長以及有力的產(chǎn)業(yè)政策支持，實(shí)現(xiàn)了跨越式發(fā)展。據(jù)中國半導(dǎo)體行業(yè)協(xié)會(huì)（CSIA）統(tǒng)計(jì)，2024年中國半導(dǎo)體市場規(guī)模已達(dá)13028億元，較2020年的8848億元增長47.2%，年復(fù)合增長率（CAGR）達(dá)10.5%，顯著高于全球同期5.2%的增速。未來，隨著5G通信、人工智能、物聯(lián)網(wǎng)和自動(dòng)駕駛等前沿技術(shù)的不斷突破，半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)需求將持續(xù)攀升，這也將直接推動(dòng)包括廢氣處理設(shè)備在內(nèi)的上游配套市場迎來新一輪擴(kuò)張。

相關(guān)報(bào)告：智研咨詢發(fā)布的《中國半導(dǎo)體廢氣處理設(shè)備行業(yè)市場運(yùn)行格局及投資機(jī)會(huì)研判報(bào)告》

四、全球及中國半導(dǎo)體廢氣處理設(shè)備?行業(yè)發(fā)展現(xiàn)狀分析

半導(dǎo)體廢氣處理設(shè)備主要應(yīng)用于刻蝕、薄膜沉積及外延等核心制程環(huán)節(jié)，其中刻蝕與薄膜沉積兩大環(huán)節(jié)的設(shè)備需求最為突出，合計(jì)占比約70%。這類設(shè)備的核心功能在于及時(shí)處理制造過程中產(chǎn)生的各類危險(xiǎn)廢氣，包括具有強(qiáng)腐蝕性的氣體（如HBr、Cl?）以及強(qiáng)溫室效應(yīng)氣體（如CF?）等，通過與工藝設(shè)備直接連接的排氣系統(tǒng)，有效降低晶圓制造產(chǎn)線的運(yùn)行風(fēng)險(xiǎn)，確保生產(chǎn)環(huán)境的安全與穩(wěn)定。近年來，在全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)高速發(fā)展與環(huán)保政策持續(xù)收緊的雙重驅(qū)動(dòng)下，半導(dǎo)體廢氣處理設(shè)備市場保持穩(wěn)健增長。數(shù)據(jù)顯示，2024年全球半導(dǎo)體廢氣處理洗滌器市場規(guī)模約13.8億美元，預(yù)計(jì)2025年將增長至14.6億美元。

中國作為全球半導(dǎo)體制造鏈中的重要一環(huán)，2024年國內(nèi)半導(dǎo)體廢氣處理設(shè)備市場規(guī)模約為24.26億元，展現(xiàn)出強(qiáng)勁的市場潛力。當(dāng)前，行業(yè)正經(jīng)歷從單一設(shè)備銷售向“技術(shù)+服務(wù)”綜合解決方案的轉(zhuǎn)型，第三方治理模式的滲透率持續(xù)提升。未來，在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)自主化戰(zhàn)略與“超低排放”等環(huán)保政策的共同推動(dòng)下，中國市場預(yù)計(jì)將保持增長態(tài)勢，到2025年行業(yè)市場規(guī)模有望突破25億元。與此同時(shí)，等離子體協(xié)同催化、AI智能運(yùn)維等前沿技術(shù)也有望成為推動(dòng)行業(yè)技術(shù)升級與模式創(chuàng)新的重要方向。

五、中國半導(dǎo)體廢氣處理設(shè)備行業(yè)競爭格局

中國半導(dǎo)體廢氣處理設(shè)備行業(yè)已形成國際巨頭與本土領(lǐng)先企業(yè)差異化競爭的格局，其中愛德華茲真空（Edwards Vacuum）、荏原（Ebara）及GST等跨國企業(yè)憑借深厚技術(shù)積累主導(dǎo)高端市場；與此同時(shí)，以盛劍環(huán)境、京儀裝備、仕凈科技為代表的本土企業(yè)依托成本優(yōu)勢、快速響應(yīng)能力及持續(xù)技術(shù)創(chuàng)新，在中端市場穩(wěn)步拓展并逐步向高端領(lǐng)域滲透，推動(dòng)國產(chǎn)替代進(jìn)程加速。當(dāng)前，行業(yè)競爭焦點(diǎn)正從單一設(shè)備價(jià)格轉(zhuǎn)向以等離子體協(xié)同催化、AI智能運(yùn)維為代表的技術(shù)突破，以及從“設(shè)備供應(yīng)商”向“技術(shù)+服務(wù)”綜合解決方案的商業(yè)模式轉(zhuǎn)型，未來本土企業(yè)有望借力半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)自主化戰(zhàn)略與環(huán)保政策持續(xù)深化，進(jìn)一步開拓全球市場。

京儀裝備（688652）作為中國半導(dǎo)體工藝廢氣處理設(shè)備領(lǐng)域的領(lǐng)軍企業(yè)，依托其半導(dǎo)體專用工藝廢氣處理設(shè)備（Local Scrubber,L/S）與半導(dǎo)體專用溫控設(shè)備（Chiller）構(gòu)成的雙核心業(yè)務(wù)，已成為推動(dòng)該領(lǐng)域設(shè)備國產(chǎn)化替代的關(guān)鍵力量。2024年，公司半導(dǎo)體專用工藝廢氣處理設(shè)備銷量達(dá)696臺，同比大幅增長74.4%；為適應(yīng)市場競爭及促進(jìn)技術(shù)普及，設(shè)備均價(jià)調(diào)整至46.5萬元/臺，同比下降14.2%，進(jìn)一步加速了行業(yè)進(jìn)口替代進(jìn)程。

在京儀裝備進(jìn)入該領(lǐng)域之前，中國半導(dǎo)體專用工藝廢氣處理設(shè)備市場長期由愛德華（Edwards）、戴思（DAS）等國際廠商主導(dǎo)，國內(nèi)廠商市場份額極低。通過持續(xù)的技術(shù)攻關(guān)，公司已形成以低溫等離子廢氣處理技術(shù)、新型材料防腐及密封技術(shù)、系統(tǒng)設(shè)計(jì)算法、純氧燃燒技術(shù)及Harsh工藝除塵技術(shù)為核心的五大技術(shù)體系，并成功研發(fā)出燃燒水洗式、等離子水洗式及電熱水洗式三種處理工藝。其產(chǎn)品覆蓋單腔與雙腔結(jié)構(gòu)，廢氣處理量范圍達(dá)400-1600標(biāo)準(zhǔn)升每分鐘（slm），對多種特征污染物的處理效率超過99%。目前，京儀裝備產(chǎn)品的關(guān)鍵性能參數(shù)，如廢氣處理效率和處理量等，已達(dá)到國內(nèi)領(lǐng)先、國際先進(jìn)水平。

六、中國半導(dǎo)體廢氣處理設(shè)備?行業(yè)發(fā)展趨勢分析

智能制造與低碳發(fā)展理念深度融入行業(yè)發(fā)展，推動(dòng)設(shè)備從“功能型”向“智能型”“低碳型”升級。借助物聯(lián)網(wǎng)與AI算法，設(shè)備實(shí)現(xiàn)廢氣成分實(shí)時(shí)監(jiān)測、處理參數(shù)動(dòng)態(tài)調(diào)控及故障預(yù)警，提升運(yùn)行效率與穩(wěn)定性，滿足半導(dǎo)體工廠的智能化管理需求。同時(shí)，碳捕捉與資源化回收技術(shù)的研發(fā)應(yīng)用成為新方向，部分設(shè)備已實(shí)現(xiàn)對特定廢氣中有用組分的回收利用，兼顧環(huán)保效益與經(jīng)濟(jì)效益。政策層面的綠色補(bǔ)貼與環(huán)保標(biāo)準(zhǔn)升級，進(jìn)一步倒逼企業(yè)加大智能化改造與低碳技術(shù)投入，推動(dòng)行業(yè)從污染治理向綠色制造全鏈條延伸，實(shí)現(xiàn)生態(tài)價(jià)值與產(chǎn)業(yè)價(jià)值的協(xié)同增長。具體發(fā)展趨勢如下：

1、技術(shù)迭代：多技術(shù)融合與高效化路徑凸顯

隨著半導(dǎo)體制造向先進(jìn)制程邁進(jìn)，廢氣成分愈發(fā)復(fù)雜且毒性增強(qiáng)，傳統(tǒng)單一處理技術(shù)已難以滿足凈化需求，推動(dòng)行業(yè)向多技術(shù)融合方向發(fā)展。等離子體技術(shù)憑借高效凈化優(yōu)勢在晶圓加工等核心環(huán)節(jié)廣泛應(yīng)用，膜分離技術(shù)則以低能耗特性持續(xù)擴(kuò)大市場滲透，光催化氧化技術(shù)在特定工藝段的VOCs治理中展現(xiàn)潛力。同時(shí)，針對不同制程廢氣的定制化解決方案成為研發(fā)重點(diǎn)，通過整合吸附、催化、燃燒等多原理模塊，實(shí)現(xiàn)對多組分廢氣的精準(zhǔn)高效處理，技術(shù)創(chuàng)新從單一設(shè)備升級轉(zhuǎn)向系統(tǒng)級解決方案優(yōu)化。

2、競爭重構(gòu)：本土企業(yè)加速高端替代與格局集中

政策端環(huán)保法規(guī)趨嚴(yán)與半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)國產(chǎn)化浪潮形成雙重驅(qū)動(dòng)，本土企業(yè)在核心技術(shù)與市場布局上持續(xù)突破。以盛劍環(huán)境、京儀裝備為代表的頭部企業(yè)，通過深耕12英寸晶圓廠等高端場景，實(shí)現(xiàn)Local Scrubber等設(shè)備的規(guī)模裝機(jī)，打破國際廠商壟斷。本土企業(yè)憑借貼近下游客戶的快速響應(yīng)能力、供應(yīng)鏈成本優(yōu)勢及產(chǎn)學(xué)研協(xié)同的技術(shù)轉(zhuǎn)化效率，逐步縮小與國際品牌的差距。行業(yè)競爭從價(jià)格比拼轉(zhuǎn)向技術(shù)實(shí)力與服務(wù)能力的綜合較量，具備核心專利、高端客戶資源及系統(tǒng)集成能力的企業(yè)將占據(jù)更多市場份額，推動(dòng)行業(yè)集中度進(jìn)一步提升。

3、價(jià)值升級：智能化與綠色化驅(qū)動(dòng)產(chǎn)業(yè)高質(zhì)量發(fā)展

智能制造與低碳發(fā)展理念深度融入行業(yè)發(fā)展，推動(dòng)設(shè)備從“功能型”向“智能型”“低碳型”升級。借助物聯(lián)網(wǎng)與AI算法，設(shè)備實(shí)現(xiàn)廢氣成分實(shí)時(shí)監(jiān)測、處理參數(shù)動(dòng)態(tài)調(diào)控及故障預(yù)警，提升運(yùn)行效率與穩(wěn)定性，滿足半導(dǎo)體工廠的智能化管理需求。同時(shí)，碳捕捉與資源化回收技術(shù)的研發(fā)應(yīng)用成為新方向，部分設(shè)備已實(shí)現(xiàn)對特定廢氣中有用組分的回收利用，兼顧環(huán)保效益與經(jīng)濟(jì)效益。政策層面的綠色補(bǔ)貼與環(huán)保標(biāo)準(zhǔn)升級，進(jìn)一步倒逼企業(yè)加大智能化改造與低碳技術(shù)投入，推動(dòng)行業(yè)從污染治理向綠色制造全鏈條延伸，實(shí)現(xiàn)生態(tài)價(jià)值與產(chǎn)業(yè)價(jià)值的協(xié)同增長。

以上數(shù)據(jù)及信息可參考智研咨詢（elizabethfrankierollins.com）發(fā)布的《中國半導(dǎo)體廢氣處理設(shè)備行業(yè)市場運(yùn)行格局及投資機(jī)會(huì)研判報(bào)告》。智研咨詢是中國領(lǐng)先產(chǎn)業(yè)咨詢機(jī)構(gòu)，提供深度產(chǎn)業(yè)研究報(bào)告、商業(yè)計(jì)劃書、可行性研究報(bào)告及定制服務(wù)等一站式產(chǎn)業(yè)咨詢服務(wù)。您可以關(guān)注【智研咨詢】公眾號，每天及時(shí)掌握更多行業(yè)動(dòng)態(tài)。